多晶硅氫還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920207629.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201473328U 公開(kāi)（公告）日 2010-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN201473328U 申請(qǐng)公布日 2010-05-19
分類(lèi)號(hào) C01B33/035(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 程佳彪;周積衛(wèi);張華芹;康治政 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海森和工程投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海世貿(mào)專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 嚴(yán)新德
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路951號(hào)5幢619室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅氫還原爐尾氣出口結(jié)構(gòu)，由還原爐上底板和還原爐下底板構(gòu)成，上底板與下底板之間設(shè)置有冷卻水腔，底盤(pán)中設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)電極和氣體進(jìn)口，電極、氣體進(jìn)口分別分布在兩個(gè)以上數(shù)目的同心圓周上，底盤(pán)中心設(shè)置有中心尾氣出口，底盤(pán)中最外圈沿圓周方向設(shè)置有數(shù)個(gè)周邊尾氣出口，周邊尾氣出口的截面積相同。本實(shí)用新型保證了各尾氣出口在相同壓力下流量、流速相同，解決了多晶硅氫還原爐因爐內(nèi)物料、溫度分布不均勻而帶來(lái)的硅棒沉積率低、生長(zhǎng)不均勻的問(wèn)題，而且尾氣出還原爐時(shí)被有效、均勻的分流，不會(huì)導(dǎo)致尾氣出口附近出現(xiàn)較大壓差及擾流情況，從而減少大型還原爐倒棒情況。尾氣出口與底盤(pán)冷卻進(jìn)水口均形成套管結(jié)構(gòu)，能有效降低尾氣出口處溫度。