一種新型多晶硅氫化爐加熱棒布置結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920207836.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201485282U 公開（公告）日 2010-05-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN201485282U 申請(qǐng)公布日 2010-05-26
分類號(hào) C01B33/03(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 鄭飛龍;李東曦;張華芹;盛曄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海森和工程投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海世貿(mào)專利代理有限責(zé)任公司 代理人 上海森和投資有限公司;上海森松壓力容器有限公司
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路951號(hào)5幢619室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型多晶硅氫化爐加熱棒布置結(jié)構(gòu)，由底盤、隔熱盤、隔熱罩和復(fù)數(shù)個(gè)加熱棒構(gòu)成，加熱棒均呈倒U型，任意一個(gè)加熱棒的兩端均連接在底盤上，底盤中與加熱棒的連接處均設(shè)置有電極孔，加熱棒分布在以底盤出氣孔為圓心的第一圓周、第二圓周和第三圓周上，第一圓周上的加熱棒、第二圓周上的加熱棒和第三圓周上的加熱棒在同心圓上角度交錯(cuò)和半徑交錯(cuò)地分布，延長了氫化爐內(nèi)的溫度場，加熱棒徑向截面呈扁平狀，可阻擋氣流向底盤出氣孔運(yùn)動(dòng)，使氣流流向底盤底部后再回流向上，最后在加熱棒的各層之間形成近似蛇形的流動(dòng)，延長了四氯化硅和氫氣的反應(yīng)時(shí)間，氣體可以得到充分反應(yīng)，提高了處理效果，同時(shí)，充分利用了多晶硅氫化爐內(nèi)的溫度場，節(jié)約了資源。