一種新型多晶硅氫化爐加熱棒布置結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920207836.3 申請日 -
公開（公告）號 CN201485282U 公開（公告）日 2010-05-26
申請公布號 CN201485282U 申請公布日 2010-05-26
分類號 C01B33/03(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 鄭飛龍;李東曦;張華芹;盛曄 申請（專利權）人 上海森和工程投資有限公司
代理機構 上海世貿專利代理有限責任公司 代理人 上海森和投資有限公司;上海森松壓力容器有限公司
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路951號5幢619室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型多晶硅氫化爐加熱棒布置結構，由底盤、隔熱盤、隔熱罩和復數個加熱棒構成，加熱棒均呈倒U型，任意一個加熱棒的兩端均連接在底盤上，底盤中與加熱棒的連接處均設置有電極孔，加熱棒分布在以底盤出氣孔為圓心的第一圓周、第二圓周和第三圓周上，第一圓周上的加熱棒、第二圓周上的加熱棒和第三圓周上的加熱棒在同心圓上角度交錯和半徑交錯地分布，延長了氫化爐內的溫度場，加熱棒徑向截面呈扁平狀，可阻擋氣流向底盤出氣孔運動，使氣流流向底盤底部后再回流向上，最后在加熱棒的各層之間形成近似蛇形的流動，延長了四氯化硅和氫氣的反應時間，氣體可以得到充分反應，提高了處理效果，同時，充分利用了多晶硅氫化爐內的溫度場，節(jié)約了資源。