PLC自動控制的多晶硅還原爐進(jìn)氣系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810179252.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101419469B 公開（公告）日 2010-06-02
申請公布號 CN101419469B 申請公布日 2010-06-02
分類號 G05D7/06(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 周積衛(wèi);茅陸榮;郝振良;程佳彪 申請（專利權(quán)）人 上海森和工程投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海森和投資有限公司;上海森松新能源設(shè)備有限公司
地址 201323 上海市南匯區(qū)祝橋工業(yè)區(qū)金聞路29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種PLC自動控制的多晶硅還原爐進(jìn)氣系統(tǒng)，其包括有PLC控制器和儀表氣源、與還原爐進(jìn)氣口一一對應(yīng)連接的至少一個截止式方向控制閥，每個截止式方向控制閥配備有一個單電控制換向閥，所述截止式方向控制閥的氣體出口與所述還原爐的進(jìn)氣口連接，所述截止式方向控制閥的氣體進(jìn)口直接連接工藝氣體輸入設(shè)備，所述單電控制換向閥的氣體進(jìn)口和一個氣體出口接所述儀表氣源，所述單電控制換向閥的另一個氣體出口與所述截止式方向控制閥的控制口連接，所述PLC控制器與所述單電控制換向閥連接。