多晶硅氫化爐進(jìn)氣口防沖擋板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920075869.7 申請日 -
公開（公告）號 CN201458749U 公開（公告）日 2010-05-12
申請公布號 CN201458749U 申請公布日 2010-05-12
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李嚴(yán)州;李東曦;周積衛(wèi);羅冀 申請（專利權(quán)）人 上海森和工程投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海世貿(mào)專利代理有限責(zé)任公司 代理人 嚴(yán)新德
地址 200240 上海市閔行區(qū)劍川路951號5幢619室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅氫化爐進(jìn)氣口防沖擋板，由一個(gè)平板構(gòu)成，平板中設(shè)置有兩個(gè)以上數(shù)目的通孔，平板的后側(cè)連接有兩個(gè)以上數(shù)目的拉筋。將拉筋焊接在多晶硅氫化爐的混合氣體進(jìn)口旁，平板垂直于混合氣體進(jìn)口，拉筋起固定作用，平板中的通孔可使一部分混合氣體減速后通過通孔直接沖到外層隔熱罩蓋板上，對隔熱罩頂端起到一定的冷卻作用，而其他大部分混合氣體在防沖擋板的導(dǎo)流下，從各個(gè)方向平穩(wěn)地進(jìn)入隔熱罩與筒體之間的環(huán)形通道。同時(shí)，防沖擋板對進(jìn)口氣流的減速，大大降低了外層隔熱罩在混合氣流沖擊下出現(xiàn)變形等不穩(wěn)定因素，提高了外層隔熱罩的使用壽命，減少了設(shè)備不安全因素的出現(xiàn)。