一種基于衍射孔陣列的微型光譜儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220528123.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN202869653U 公開(公告)日 2013-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN202869653U 申請(qǐng)公布日 2013-04-10
分類號(hào) G01J3/28(2006.01)I;G01J3/18(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 楊濤;何浩培;李偉;黃維;李興鰲 申請(qǐng)(專利權(quán))人 南京方圓環(huán)球顯示技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 南京郵電大學(xué);南京方圓環(huán)球顯示技術(shù)有限公司
地址 210003 江蘇省南京市新模范馬路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于衍射孔陣列的微型光譜儀,沿入射光方向依次包括:入射光準(zhǔn)直裝置;一層基底,采用透明材料制作;一個(gè)構(gòu)建在所述基底其中一個(gè)表面上的擋光層中的衍射孔二維陣列,所述擋光層由不透明材料制作,所述衍射孔二維陣列包括一系列具有不同孔徑尺寸的衍射孔,且各衍射孔孔徑尺寸與入射光波長(zhǎng)接近,各衍射孔的深度與擋光層厚度相同;包括多個(gè)探測(cè)像素元的探測(cè)陣列芯片,所述探測(cè)陣列芯片的探測(cè)信號(hào)輸出端與一計(jì)算分析部件連接;所述衍射孔二維陣列中各個(gè)衍射孔與所述探測(cè)陣列芯片中的探測(cè)像素元的位置非一一對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型在保證與現(xiàn)有衍射孔陣列結(jié)構(gòu)微型光譜儀性能相當(dāng)?shù)那疤嵯?,更易于加工,制作成本更低?/td>