一種晶圓切割機(jī)主軸前置結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220333656.1 申請日 -
公開（公告）號 CN202727131U 公開（公告）日 2013-02-13
申請公布號 CN202727131U 申請公布日 2013-02-13
分類號 B28D5/02(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李建文 申請（專利權(quán)）人 福州勝憶電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 350015 福建省福州市馬尾區(qū)快安延伸區(qū)21號宏達(dá)利3#廠房二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓切割機(jī)主軸前置結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)于晶圓切割機(jī)上的主軸前支架，所述主軸前支架靠近硅片定位平臺的一側(cè)上方設(shè)有固定座，所述固定座中設(shè)有切割主軸部件，所述切割主軸部件中設(shè)有切割刀片；本實(shí)用新型將晶圓切割機(jī)的切割主軸部件設(shè)置在主軸前支架靠近硅片定位平臺的一側(cè)上方，從而能夠降低切割主軸的長度，使懸臂部分更短，增加主軸部件的剛性，并能夠有效減少因熱脹冷縮效應(yīng)引起的變形，使切割主軸及切割刀片位置的更加不易偏移，有利于提高晶圓切割機(jī)的穩(wěn)定性和加工精度。