一種防震不易變形的晶圓切割機底座結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220333639.8 申請日 -
公開（公告）號 CN202727130U 公開（公告）日 2013-02-13
申請公布號 CN202727130U 申請公布日 2013-02-13
分類號 B28D5/00(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李建文 申請（專利權(quán)）人 福州勝憶電子科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 350015 福建省福州市馬尾區(qū)快安延伸區(qū)21號宏達利3#廠房二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種防震不易變形的晶圓切割機底座結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)于晶圓切割機中的底座，所述底座上設(shè)有用于固定晶圓切割機X軸、Y軸精密直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌安裝凸臺，所述導(dǎo)軌安裝凸臺上設(shè)有精密直線導(dǎo)軌固定孔，所述底座為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座；本實用新型將晶圓切割機底座改為由人造花崗巖或人造大理石制成的一體式底座，人造花崗巖或人造大理石的溫差系數(shù)低、不容易變形，人造花崗巖或人造大理石的防震性能優(yōu)越，有利于提高晶圓切割機的穩(wěn)定性和加工精度。