飛秒激光微形貌加工裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520241843.0 申請日 -
公開（公告）號 CN204711399U 公開（公告）日 2015-10-21
申請公布號 CN204711399U 申請公布日 2015-10-21
分類號 B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 豆照良;唐嘯鳴 申請（專利權(quán)）人 天津納微華瑞科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方匯眾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津納微華瑞科技有限公司;上海納微涂層有限公司
地址 300350 天津市津南區(qū)海河工業(yè)區(qū)聚興道9號7號樓2181
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種飛秒激光微形貌加工裝置，包括自動化機(jī)械手和飛秒激光裝置；所述自動化機(jī)械手的夾持器對所述飛秒激光裝置進(jìn)行夾持；所述飛秒激光裝置包括飛秒激光器、中性衰減片、分束片、準(zhǔn)直透鏡、小孔陣列板及聚焦透鏡，沿所述飛秒激光器射出的激光輸出光路上依次設(shè)置有中性衰減片、分束片、準(zhǔn)直透鏡、小孔陣列板及聚焦透鏡；加工工件時熱影響區(qū)小、作用時間短，極大提高了形貌加工的精度，同時實現(xiàn)了真正意義上的非熱熔性冷加工。