超短脈沖激光微形貌加工裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520508094.3 申請日 -
公開（公告）號 CN204771135U 公開（公告）日 2015-11-18
申請公布號 CN204771135U 申請公布日 2015-11-18
分類號 B23K26/064(2014.01)I;B23K26/08(2014.01)I;B23K26/362(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 豆照良;唐嘯鳴 申請（專利權(quán)）人 天津納微華瑞科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方匯眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津納微華瑞科技有限公司;上海納微涂層有限公司
地址 300350 天津市津南區(qū)海河工業(yè)區(qū)聚興道9號7號樓2181
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種超短脈沖激光微形貌加工裝置，其包括自動(dòng)掃描機(jī)械手臂和超短脈沖激光裝置；所述的自動(dòng)掃描機(jī)械手臂通過夾持器對所述超短脈沖激光裝置進(jìn)行夾持；所述超短脈沖激光裝置包括超短脈沖激光源、中性衰減片、分束片和多個(gè)準(zhǔn)直透鏡組件，沿所述的超短脈沖激光源射出的脈沖激光輸出光路上依次設(shè)置有中性衰減片、分束片和準(zhǔn)直透鏡組件。本實(shí)用新型因設(shè)置有超短脈沖激光源，可以提供脈沖寬度為飛秒級和皮秒級的超短脈沖激光；超短脈沖激光的能量在空間上呈高斯分布，通過控制入射激光的能流密度可使其中心很小區(qū)域內(nèi)的能量值大于材料的破壞閾值，從而得到比聚焦光斑更小的特征尺寸以實(shí)現(xiàn)微形貌的精細(xì)加工。