用于晶圓測試的測試系統(tǒng)異常中斷恢復方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111014452.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113721130A 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN113721130A 申請公布日 2021-11-30
分類號 G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 闞紫為;楊穎超;李鵬宇 申請（專利權）人 浙江確安科技有限公司
代理機構 北京輕創(chuàng)知識產權代理有限公司 代理人 陳曉斌
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經濟開發(fā)區(qū)芯中路6號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓測試的測試系統(tǒng)異常中斷恢復方法及裝置，涉及芯片制造領域。該方法包括：當測試系統(tǒng)異常中斷后，從測試機中讀取已存儲的晶圓信息，從晶圓信息中提取已測試的晶圓測試結果；根據晶圓測試結果對空白測試結果圖進行修改，得到部分測試結果圖；通過探針臺調取部分測試結果圖，根據部分測試結果圖對晶圓未測試的部分進行測試，得到完整測試結果圖。本發(fā)明適用于晶圓測試系統(tǒng)異常中斷后的測試恢復，能夠使探針臺根據部分晶圓map圖繼續(xù)進行晶圓剩余部分的測試，不需要對已經測試過的區(qū)域再次進行測試，從而減少了不能復測產品的報廢，減少針痕增多后良率降低的風險，提高良率。