一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910014257.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109917541A 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN109917541A 申請公布日 2019-06-21
分類號 G02B26/08（2006.01）I; A61L2/10（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 汪際軍 申請（專利權）人 全普半導體科技（深圳）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號8層806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法，利用反射鏡的快速旋轉來實現(xiàn)微觀掃描即像素級掃描，紫外發(fā)光元件隨著反射鏡的旋轉而旋轉，實現(xiàn)動態(tài)紫外光輻射，有效的提高了殺菌面積和殺菌效率。并且，由于將紫外發(fā)光器件與MEMS掃描微鏡芯片集成于一體，大大降低了器件尺寸，實現(xiàn)了器件的輕薄化。