一種MEMS發(fā)光微鏡及光發(fā)射方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910014272.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109557663A 公開（公告）日 2019-04-02
申請公布號 CN109557663A 申請公布日 2019-04-02
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 汪際軍 申請（專利權(quán)）人 全普半導(dǎo)體科技（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號8層806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS發(fā)光微鏡及光發(fā)射方法，將光發(fā)射單元集成于MEMS掃描微鏡的反射鏡中，MEMS掃描微鏡沿著扭臂進(jìn)行擺動(dòng)，每擺動(dòng)一次，光發(fā)射單元擺動(dòng)并發(fā)射出隨之?dāng)[動(dòng)的光束，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)發(fā)光。因此，本發(fā)明的MEMS發(fā)光微鏡可以應(yīng)用于照明、光探測和凈化領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)光源的動(dòng)態(tài)發(fā)射，提高發(fā)光均勻性，提高圖像探測掃描速率，降低光能損耗，提高圖像亮度和分辨率。