一種磷化銦尾料制備磷化銦多晶的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111045842.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113774491A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113774491A 申請公布日 2021-12-10
分類號 C30B29/40（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳偉杰;白平平;周鐵軍;危嚴;林嘉威;齊正陽 申請（專利權(quán)）人 廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱偉雄
地址 511517廣東省清遠市高新區(qū)創(chuàng)興三路16號A車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種磷化銦尾料制備磷化銦多晶的方法，包括：將磷化銦尾料和過量紅磷分別置于真空密封石英管的兩端，再置于加熱器中，將加熱器置于壓力容器內(nèi)，在后續(xù)的加熱過程中磷化銦尾料區(qū)域的溫度高于紅磷區(qū)域；加熱升溫確保在磷化銦尾料區(qū)域溫度達到磷化銦的熔點前使石英管內(nèi)壓力達到磷化銦的離解壓；待石英管內(nèi)壓力到達磷化銦離解壓后，將磷化銦區(qū)域的溫度升至1100～1300℃進行保溫；然后對磷化銦區(qū)域進行分區(qū)域降溫以使磷化銦進行定向凝固，得到磷化銦多晶料。本方法不僅能獲得良率高的磷化銦多晶，而且可以提高磷化銦廢料的利用率，簡化工藝，降低生產(chǎn)成本，避免回收銦和磷過程中造成的資源浪費，減少廢水廢渣的產(chǎn)生，保護環(huán)境。