一種提高曝光機曝光精度和抗干擾能力的觸發(fā)電路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022664467.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213305542U 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN213305542U 申請公布日 2021-05-28
分類號 H04N5/235(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 肖燕青;何先福;吳永超;陳海巍 申請（專利權(quán)）人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林娟
地址 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種提高曝光機曝光精度和抗干擾能力的觸發(fā)電路，屬于曝光機技術(shù)領(lǐng)域。所述觸發(fā)電路由差分單端轉(zhuǎn)換電路、信號分路電路、電源降壓電路和信號輸入輸出接口電路組成；能夠同時輸出多路觸發(fā)脈沖，可以有效地將差分信號反饋給DMD數(shù)字微鏡，每路之間延遲時間小，整體延時小，同時差分信號高度免疫外界電磁干擾，故提高了觸發(fā)電路信號的一致性和抗干擾性，解決了因外界因素影響，導(dǎo)致信號會出現(xiàn)偶發(fā)性丟失的問題，減小曝光圖形與實際圖形的偏差，提高產(chǎn)品良率，提高曝光機曝光性能。??