一種LDI分段式真空吸盤及LDI設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020832934.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212060868U 公開（公告）日 2020-12-01
申請公布號 CN212060868U 申請公布日 2020-12-01
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖燕青;陶元春 申請（專利權(quán)）人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
地址 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種LDI分段式真空吸盤及LDI設(shè)備，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域。通過提供一種分段式真空吸盤，其中一段吸盤主體劃分為M列，每一列連接一個縱向獨立電磁閥；另外一段吸盤主體劃分為N行，每一行連接一個橫向獨立電磁閥；在對小尺寸PCB板進行吸附時，只在橫向或者縱向上存在漏在外面的吸真空氣孔，也即相對于現(xiàn)有技術(shù)減少了漏在外面的吸真空氣孔，在能夠滿足更多PCB板尺寸的同時，盡可能的減少了漏在外面的吸真空氣孔數(shù)量，盡可能的降低了對吸盤整體真空環(huán)境的破壞。??