一種LDI分段式真空吸盤及LDI設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020832934.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212060868U | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212060868U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 肖燕青;陶元春 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 地址 | 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種LDI分段式真空吸盤及LDI設(shè)備，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域。通過提供一種分段式真空吸盤，其中一段吸盤主體劃分為M列，每一列連接一個(gè)縱向獨(dú)立電磁閥；另外一段吸盤主體劃分為N行，每一行連接一個(gè)橫向獨(dú)立電磁閥；在對(duì)小尺寸PCB板進(jìn)行吸附時(shí)，只在橫向或者縱向上存在漏在外面的吸真空氣孔，也即相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)減少了漏在外面的吸真空氣孔，在能夠滿足更多PCB板尺寸的同時(shí)，盡可能的減少了漏在外面的吸真空氣孔數(shù)量，盡可能的降低了對(duì)吸盤整體真空環(huán)境的破壞。?? |
