一種控制平臺出板距離的激光直寫曝光系統(tǒng)及曝光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911184118.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110850687A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN110850687A 申請公布日 2021-06-11
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖燕青;袁征;陳海巍;劉世林;曾振軍;徐彥文 申請（專利權(quán)）人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭素琴
地址 221300 江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)華山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種控制平臺出板位置的激光直寫曝光系統(tǒng)及曝光方法，屬于激光直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域。所述系統(tǒng)根據(jù)板材資料輸入裝置輸入的待曝光板材資料計算工件臺出板距離，并根據(jù)計算出的出板距離控制工件臺將待曝光板材運輸至相應(yīng)的曝光位置，以便曝光設(shè)備對板材進(jìn)行曝光，所述板材資料包括待曝光板材的尺寸信息；有效減少了小尺寸板材曝光時出板的無效距離，減少了曝光時間，有效提高了產(chǎn)能。同時未對設(shè)備進(jìn)行大幅改動，方便后續(xù)設(shè)備維護(hù)。