激光直寫設(shè)備中多路光路校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010573071.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111781800A | 公開（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申請公布號(hào) | CN111781800A | 申請公布日 | 2020-10-16 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 肖燕青;茆曉華;陳海巍 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 |
| 地址 | 221000江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了激光直寫設(shè)備中多路光路校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法，屬于曝光技術(shù)領(lǐng)域。所述方法通過成像轉(zhuǎn)換組件對各光路所投的圖像進(jìn)行轉(zhuǎn)換，像經(jīng)過成像轉(zhuǎn)換組件透鏡組后變成平行光通過校準(zhǔn)光路的各光學(xué)元件(全反鏡+透反鏡)，最終經(jīng)CCD物鏡將平行入射的光線成像到CCD靶面相機(jī)上。通過成像轉(zhuǎn)換組件將光路用于校準(zhǔn)的圖形成像到無窮遠(yuǎn)，從而解決了CCD靶面相機(jī)與各光路距離不一樣的問題，因?yàn)椴恍枰苿?dòng)載物平臺(tái)，所以避免了現(xiàn)有多光路校準(zhǔn)的方法存在的耗時(shí)長且校準(zhǔn)精度依賴于可移動(dòng)平臺(tái)的精度的問題。?? |
