一種控制平臺(tái)出板距離的激光直寫(xiě)曝光系統(tǒng)及曝光方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911184118.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110850687B 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN110850687B 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類(lèi)號(hào) G03F7/20 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖燕青;袁征;陳海巍;劉世林;曾振軍;徐彥文 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭素琴
地址 221000 江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種控制平臺(tái)出板位置的激光直寫(xiě)曝光系統(tǒng)及曝光方法，屬于激光直寫(xiě)曝光技術(shù)領(lǐng)域。所述系統(tǒng)根據(jù)板材資料輸入裝置輸入的待曝光板材資料計(jì)算工件臺(tái)出板距離，并根據(jù)計(jì)算出的出板距離控制工件臺(tái)將待曝光板材運(yùn)輸至相應(yīng)的曝光位置，以便曝光設(shè)備對(duì)板材進(jìn)行曝光，所述板材資料包括待曝光板材的尺寸信息；有效減少了小尺寸板材曝光時(shí)出板的無(wú)效距離，減少了曝光時(shí)間，有效提高了產(chǎn)能。同時(shí)未對(duì)設(shè)備進(jìn)行大幅改動(dòng)，方便后續(xù)設(shè)備維護(hù)。