半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其機(jī)械手系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122005160.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216098972U 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN216098972U 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) B25J15/00（2006.01）I;B25J19/00（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 劉晶晶;趙海洋;李世凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 施敬勃
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其機(jī)械手系統(tǒng)，該機(jī)械手系統(tǒng)包括機(jī)械手、供氣管路和流量檢測(cè)裝置，其中：所述機(jī)械手具有承載面，所述承載面用于承載待傳輸件；所述機(jī)械手還具有氣體流道，所述氣體流道的進(jìn)氣口與所述供氣管路的出氣端連接，所述氣體流道的出氣口開設(shè)于所述承載面；所述供氣管路的進(jìn)氣端用于連接氣源，以向所述氣體流道中通入檢測(cè)氣體；所述流量檢測(cè)裝置設(shè)置于所述供氣管路上，所述流量檢測(cè)裝置用于檢測(cè)所述供氣管路中所述檢測(cè)氣體的流量。上述方案能夠?qū)崟r(shí)獲取機(jī)械手的傳片信息。