半導體生產線MES系統(tǒng)及其實驗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910481991.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110233122A 公開（公告）日 2019-09-13
申請公布號 CN110233122A 申請公布日 2019-09-13
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馮宇; 夏利敏; 崔琴 申請（專利權）人 華經智能信息（江蘇）有限公司
代理機構 上海精晟知識產權代理有限公司 代理人 馮子玲
地址 200333 上海市普陀區(qū)祁連山南路2891弄105號6340室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體生產線MES系統(tǒng)，包括：MES核心，所述MES核心包括：工藝流程控制模塊分別與設備通訊終端、主數(shù)據(jù)管理模塊、調度器、調度程序模塊通信，其中，還包括實驗管理模塊，所述實驗管理模塊與所述主數(shù)據(jù)管理模塊、所述工藝流程控制模塊通信。一種半導體生產線MES系統(tǒng)的實驗方法，其中，實驗管理模塊獲取MES系統(tǒng)中的主工藝流程，實驗管理模塊將主工藝流程中一個及以上的工藝步驟替換為實驗工藝步驟。本發(fā)明在現(xiàn)有的MES系統(tǒng)中增加了獨立的實驗管理模塊，實驗管理模塊可以獲取主工藝流程，并可以根據(jù)需要將主工藝流程中的工藝步驟替換為實驗工藝步驟，從而，本發(fā)明可以在不停機的基礎上進行自動化的實驗模式。