半導(dǎo)體生產(chǎn)線MES系統(tǒng)及其實(shí)驗(yàn)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910481991.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110233122A | 公開（公告）日 | 2019-09-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110233122A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-09-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馮宇; 夏利敏; 崔琴 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 華經(jīng)智能信息（江蘇）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 馮子玲 |
| 地址 | 200333 上海市普陀區(qū)祁連山南路2891弄105號(hào)6340室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線MES系統(tǒng)，包括：MES核心，所述MES核心包括：工藝流程控制模塊分別與設(shè)備通訊終端、主數(shù)據(jù)管理模塊、調(diào)度器、調(diào)度程序模塊通信，其中，還包括實(shí)驗(yàn)管理模塊，所述實(shí)驗(yàn)管理模塊與所述主數(shù)據(jù)管理模塊、所述工藝流程控制模塊通信。一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線MES系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)方法，其中，實(shí)驗(yàn)管理模塊獲取MES系統(tǒng)中的主工藝流程，實(shí)驗(yàn)管理模塊將主工藝流程中一個(gè)及以上的工藝步驟替換為實(shí)驗(yàn)工藝步驟。本發(fā)明在現(xiàn)有的MES系統(tǒng)中增加了獨(dú)立的實(shí)驗(yàn)管理模塊，實(shí)驗(yàn)管理模塊可以獲取主工藝流程，并可以根據(jù)需要將主工藝流程中的工藝步驟替換為實(shí)驗(yàn)工藝步驟，從而，本發(fā)明可以在不停機(jī)的基礎(chǔ)上進(jìn)行自動(dòng)化的實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｊ健?/td> |
