恒溫裝置以及MOCVD設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020018323.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211170886U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211170886U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號(hào) | C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 楊彬斌;蔡武;黃小輝;陳向東;楊東;康建 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 圓融光電科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 圓融光電科技股份有限公司 |
| 地址 | 243000安徽省馬鞍山市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)寶慶路399號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種恒溫裝置以及MOCVD設(shè)備，其中，一種恒溫裝置包括至少兩個(gè)槽體，至少一個(gè)所述槽體內(nèi)設(shè)置有恒溫組件，所述恒溫組件用于保持所述槽體內(nèi)的液體的溫度恒定，兩個(gè)所述槽體之間連通有兩個(gè)導(dǎo)流管，兩個(gè)所述導(dǎo)流管分別與兩個(gè)水泵連接，兩個(gè)所述水泵用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述導(dǎo)流管內(nèi)的液體向相反方向流動(dòng)，以使得兩個(gè)所述槽體內(nèi)的液體循環(huán)流動(dòng)。本實(shí)用新型提供一種恒溫裝置以及MOCVD設(shè)備，耗能低，有利于降低恒溫裝置的成本，提高生產(chǎn)利潤。?? |
