一種生產(chǎn)質(zhì)量檢測用硅棒的設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023343665.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214192591U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214192591U 申請公布日 2021-09-14
分類號 C01B33/035（2006.01）I;G01N33/00（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李坤;楊濤;趙云松;陳文吉;裴雅晨 申請（專利權(quán)）人 新疆大全新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京鼎佳達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孟阿妮;張小勇
地址 832000新疆維吾爾自治區(qū)石河子市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)化工新材料產(chǎn)業(yè)園緯六路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種生產(chǎn)質(zhì)量檢測用硅棒的設(shè)備，其包括:汽化器、匯流切換控制系統(tǒng)和反應(yīng)器；汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；物料通道一分別與置換氮?dú)夤艿?、新鮮三氯氫硅管道、回收三氯氫硅管道連通；物料通道二與置換氮?dú)夤艿肋B通；物料通道三分別與新鮮氫氣管道和回收氫氣管道連通；匯流切換控制系統(tǒng)包括：控制閥、壓力表和控制器；控制閥和壓力表分別設(shè)置在多個新鮮三氯氫硅管道、回收三氯氫硅管道、新鮮氫氣管道、回收氫氣管道和置換氮?dú)夤艿郎希豢刂破鞣謩e與控制閥和壓力表連接；反應(yīng)器與汽化器連通。采用本實(shí)用新型能夠縮短生產(chǎn)檢測用硅棒的周期，提升來料物料質(zhì)量的評估效率。