一種彈性晶片的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011526691.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112626616A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112626616A 申請公布日 2021-04-09
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐百 申請（專利權(quán)）人 蘇州納通生物納米技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州銘浩知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張一鳴
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園C8樓201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種彈性晶片的制造方法，包括：單晶硅的制備、納米微加工；所述單晶硅的制備包括：S1清潔處理、S2裝爐、S3熔化、S4引晶、S5縮徑、S6放肩、S7等徑生長、S8收尾；所述S1清潔處理：將爐體、籽晶、硅多晶、摻雜劑、石英坩堝進(jìn)行清潔處理；所述S2裝爐：將多晶硅和摻雜劑置入單晶爐內(nèi)的石英坩堝中；所述S3熔化：當(dāng)裝爐結(jié)束關(guān)閉單晶爐門后，抽真空使單晶爐內(nèi)保持在一定的壓力范圍內(nèi)，驅(qū)動石墨加熱系統(tǒng)的電源；本發(fā)明通過對彈性晶片的制造方法的改進(jìn)，具有設(shè)計(jì)合理，易于實(shí)現(xiàn)、便于加工生產(chǎn)，制得晶片安全、無痛、無創(chuàng)、便于使用，促進(jìn)吸收，提高護(hù)理效果的優(yōu)點(diǎn)，從而有效的解決了本發(fā)明提出的問題和不足。??