一種連續(xù)式磁控濺射生產(chǎn)線的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120381340.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214250191U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214250191U 申請公布日 2021-09-21
分類號 F25B19/00（2006.01）I;F25D17/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 冷長志;李啟炎 申請（專利權(quán)）人 浙江云度新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州永繹專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡英超
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)投資創(chuàng)業(yè)中心金谷中路（東）288號G樓第一層西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種連續(xù)式磁控濺射生產(chǎn)線的冷卻裝置，包括箱體，設(shè)置在箱體上的進(jìn)氣孔，所述進(jìn)氣孔上連接有進(jìn)氣管，其特征是所述進(jìn)氣管上連接有三通閥，所述三通閥上連接有氮?dú)夤芎统闅夤?，所述氮?dú)夤芰硪欢诉B接有液氮罐，所述抽氣管另一端連接有抽氣泵，所述箱體上還設(shè)置有風(fēng)扇組件；本實用新型通過往箱體內(nèi)充入液氮，在液氮?dú)饣倪^程中能夠吸收大量的熱量，從而達(dá)到快速降溫的目的，箱體上設(shè)置有風(fēng)扇組件，通過電機(jī)帶動風(fēng)扇轉(zhuǎn)動，對產(chǎn)品進(jìn)行吹風(fēng)降溫的同時使液氮在氣化的過程中能夠保證氮?dú)饩鶆虻某涑庹麄€箱體1內(nèi)，使產(chǎn)品完全冷卻，并且同時由于氮?dú)獠换顫姷幕瘜W(xué)特性，不會與產(chǎn)品發(fā)生氧化反應(yīng)，能夠有效避免產(chǎn)品氧化，確保產(chǎn)品的質(zhì)量。