一種連續(xù)式磁控濺射生產(chǎn)線的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120381340.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214250191U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214250191U 申請公布日 2021-09-21
分類號 F25B19/00（2006.01）I;F25D17/06（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 冷長志;李啟炎 申請（專利權(quán)）人 浙江云度新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州永繹專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡英超
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)投資創(chuàng)業(yè)中心金谷中路（東）288號G樓第一層西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種連續(xù)式磁控濺射生產(chǎn)線的冷卻裝置，包括箱體，設(shè)置在箱體上的進氣孔，所述進氣孔上連接有進氣管，其特征是所述進氣管上連接有三通閥，所述三通閥上連接有氮氣管和抽氣管，所述氮氣管另一端連接有液氮罐，所述抽氣管另一端連接有抽氣泵，所述箱體上還設(shè)置有風扇組件；本實用新型通過往箱體內(nèi)充入液氮，在液氮氣化的過程中能夠吸收大量的熱量，從而達到快速降溫的目的，箱體上設(shè)置有風扇組件，通過電機帶動風扇轉(zhuǎn)動，對產(chǎn)品進行吹風降溫的同時使液氮在氣化的過程中能夠保證氮氣均勻的充斥整個箱體1內(nèi)，使產(chǎn)品完全冷卻，并且同時由于氮氣不活潑的化學特性，不會與產(chǎn)品發(fā)生氧化反應，能夠有效避免產(chǎn)品氧化，確保產(chǎn)品的質(zhì)量。