模具及其形成方法、圖像傳輸結(jié)構(gòu)的形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610192240.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107283691A 公開（公告）日 2017-10-24
申請公布號 CN107283691A 申請公布日 2017-10-24
分類號 B29C33/38(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 分類 塑料的加工；一般處于塑性狀態(tài)物質(zhì)的加工;
發(fā)明人 朱虹;房偉;林崴平;凌嚴(yán) 申請（專利權(quán)）人 上海瑞艾立微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳敏
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)龍東大道3000號5幢202-02室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種模具及其形成方法、圖像傳輸結(jié)構(gòu)的形成方法，所述模具的形成方法，包括：提供基底；在所述基底表面形成具有開口的掩膜層；沿所述開口刻蝕基底，在基底內(nèi)形成凹槽，所述凹槽底部與側(cè)壁的連接處呈圓弧狀；形成覆蓋所述凹槽內(nèi)部表面以及掩膜層的疏水性膜。上述方法形成的模具能夠用于形成較小尺寸的透鏡。