二極管及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510272064.1 申請日 -
公開(公告)號 CN104979287A 公開(公告)日 2015-10-14
申請公布號 CN104979287A 申請公布日 2015-10-14
分類號 H01L21/82(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭婭潔;凌嚴(yán);朱虹 申請(專利權(quán))人 上海瑞艾立微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高靜;吳敏
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5幢202-02室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種二極管及其制造方法,其中二極管的制造方法包括:提供絕緣基板;形成覆蓋所述絕緣基板的第一導(dǎo)電層;在所述第一導(dǎo)電層上依次形成第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層以形成管芯,所述第一半導(dǎo)體層和所述第二半導(dǎo)體層的摻雜類型不同;形成位于所述管芯上的第二導(dǎo)電層;形成覆蓋所述第二導(dǎo)電層的保護(hù)層。本發(fā)明通過采用絕緣基板形成二極管,在絕緣基板上形成第一導(dǎo)電層和管芯,由于絕緣基板的絕緣性,能夠抑制經(jīng)基板流經(jīng)的電流,可以避免二極管之間的發(fā)生串?dāng)_,從而改善二極管的獨(dú)立性,提高二極管的隔離性。