一種用于搖擺爐的爐室
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210084146.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114438598A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114438598A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-06 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/46（2006.01）I;C30B11/00（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I;H01L35/16（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉朝軒;邵瑋;戚振華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 洛陽(yáng)市自動(dòng)化研究所有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛陽(yáng)市高新開(kāi)發(fā)區(qū)豐華路6號(hào)銀昆科技園1號(hào)樓四層D10 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于搖擺爐的爐室，涉及人工晶體制備領(lǐng)域，本發(fā)明通過(guò)在爐室主體（1）內(nèi)設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)石英管放置工位，然后通過(guò)在石英管（7）的兩端放置高溫棉（11）使石英管牢牢的固定在石英管放置工位上，在一次同時(shí)設(shè)置多根石英管放置工位的同時(shí)還有效的避免了石英管在搖擺的過(guò)程中發(fā)生破碎的風(fēng)險(xiǎn)，有效的提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本等，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，使用效果好等特點(diǎn)，適合大范圍的推廣和應(yīng)用。 |
