一種用于拉制人工晶體的籽晶夾頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210200557.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114457420A 公開(kāi)（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114457420A 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C30B28/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C01B33/035（2006.01）N 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉朝軒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)市自動(dòng)化研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 471000河南省洛陽(yáng)市高新開(kāi)發(fā)區(qū)豐華路6號(hào)銀昆科技園1號(hào)樓四層D10
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于拉制人工晶體的籽晶夾頭，涉及人工晶體領(lǐng)域，本發(fā)明通過(guò)在連接盤（10）內(nèi)設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)軸穿孔（9），復(fù)數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)軸穿孔為中間設(shè)置一個(gè)，其余旋轉(zhuǎn)軸穿孔分多組呈放射狀設(shè)置在中間旋轉(zhuǎn)軸穿孔的外圍，這樣可以實(shí)現(xiàn)更多根硅芯的同時(shí)拉制，然后在每個(gè)旋轉(zhuǎn)軸穿孔內(nèi)分別設(shè)置可以旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸（7），復(fù)數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)旋轉(zhuǎn)輪連通，由旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)夾持件（11）旋轉(zhuǎn)，在拉制硅芯的過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)的夾持件帶動(dòng)籽晶旋轉(zhuǎn)，通過(guò)籽晶旋轉(zhuǎn)修正由于高頻線圈拉制孔內(nèi)或坩堝內(nèi)溫度不一致導(dǎo)致硅芯橢圓的技術(shù)缺陷，進(jìn)而達(dá)到修正硅芯橢圓度的目的，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，使用效果好等特點(diǎn)。