一種可調(diào)整型壓爪結(jié)構(gòu)和夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021558319.3 申請日 -
公開(公告)號 CN212750850U 公開(公告)日 2021-03-19
申請公布號 CN212750850U 申請公布日 2021-03-19
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉聰聰 申請(專利權(quán))人 深圳新益昌開玖自動化設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 深圳市世聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 汪琳琳
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道陽光社區(qū)沙坑路偉豪工業(yè)園3棟廠房401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例屬于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種可調(diào)整型壓爪結(jié)構(gòu)和夾具。本申請?zhí)峁┑募夹g(shù)方案包括安裝板、壓爪座及壓爪;所述壓爪座設(shè)于所述安裝板上,所述壓爪設(shè)于所述壓爪座上并能夠沿豎直方向產(chǎn)生形變,以改變所述壓爪在豎直方向的位置。壓爪安裝在卡槽與安裝板之間,通過調(diào)節(jié)件的調(diào)節(jié),使壓爪產(chǎn)生形變,改變壓爪在豎直方向的位置,從而使壓爪能夠?qū)崿F(xiàn)上下調(diào)節(jié)的目的。降低了對壓爪的加工要求,降低了成本,提高了壓爪的適配能力,并且壓爪在長期使用受到磨損后,經(jīng)過調(diào)節(jié)可繼續(xù)使用,極大地增加了壓爪的使用壽命。??