一種超聲波引線鍵合設(shè)備的超聲異常檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910898083.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110726888B 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN110726888B 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) G01R31/00（2006.01）I;G01R19/00（2006.01）I;B06B1/02（2006.01）I;B06B3/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 宋勇飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳新益昌開玖自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李娟
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道陽(yáng)光社區(qū)沙坑路偉豪工業(yè)園3棟廠房401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)適用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備領(lǐng)域，提供了一種超聲波引線鍵合設(shè)備的超聲異常檢測(cè)方法及裝置，包括：通過在所述半導(dǎo)體鍵合設(shè)備鍵合焊點(diǎn)時(shí)，采集預(yù)設(shè)時(shí)段內(nèi)的電流輪廓波形，所述電流輪廓波形為半導(dǎo)體鍵合設(shè)備中預(yù)置的超聲換能器工作時(shí)的電流的輪廓波形；采用模板匹配的方法分別對(duì)超聲換能器的起振階段電流波形和正常工作階段的電流波形進(jìn)行匹配，既可以準(zhǔn)確判斷超聲換能器起振是否正常，又可以準(zhǔn)確判斷焊接過程中超聲輸出的能量是否穩(wěn)定，并且，本實(shí)施例中通過采用匹配的方式進(jìn)行波形和模板之間的比對(duì)，降低了對(duì)焊接過程中隨機(jī)出現(xiàn)的電流脈沖和噪聲對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，提高了檢測(cè)結(jié)果的精確性。