聲學(xué)諧振器及其制造方法以及包括該聲學(xué)諧振器的濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110717075.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113258901B 公開（公告）日 2021-10-29
申請公布號 CN113258901B 申請公布日 2021-10-29
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 唐兆云;楊清華;賴志國 申請（專利權(quán)）人 深圳漢天下微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京允天律師事務(wù)所 代理人 李建航
地址 518052廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科技園社區(qū)科技路1號桑達(dá)科技大廈2樓213
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了聲學(xué)諧振器及其制造方法以及包括該聲學(xué)諧振器的濾波器。根據(jù)本公開的聲學(xué)諧振器的制造方法包括：在襯底內(nèi)部或表面上形成反射元件；在襯底上方沿豎直方向依次形成與反射元件交疊的下電極和壓電層；在有效諧振區(qū)域的一端對壓電層進(jìn)行刻蝕以形成空隙；以及在壓電層上方形成上電極和橋部，其中橋部覆蓋空隙，下電極、壓電層和上電極與反射元件交疊的區(qū)域構(gòu)成有效諧振區(qū)域。根據(jù)本公開的聲學(xué)諧振器及其制造方法，可以在不顯著增加工藝復(fù)雜度的情況下在聲學(xué)諧振器的有效諧振區(qū)域周圍形成空隙以將諧振能量限制在有效諧振區(qū)域中，從而減少諧振能量的損失，提高聲學(xué)諧振器的品質(zhì)因數(shù)。