聲學諧振器及其制造方法以及包括該聲學諧振器的濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110717075.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113258901A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113258901A 申請公布日 2021-08-13
分類號 H03H9/17;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 唐兆云;楊清華;賴志國 申請（專利權）人 深圳漢天下微電子有限公司
代理機構 北京允天律師事務所 代理人 李建航
地址 518052 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科技園社區(qū)科技路1號桑達科技大廈2樓213
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了聲學諧振器及其制造方法以及包括該聲學諧振器的濾波器。根據本公開的聲學諧振器的制造方法包括：在襯底內部或表面上形成反射元件；在襯底上方沿豎直方向依次形成與反射元件交疊的下電極和壓電層；在有效諧振區(qū)域的一端對壓電層進行刻蝕以形成空隙；以及在壓電層上方形成上電極和橋部，其中橋部覆蓋空隙，下電極、壓電層和上電極與反射元件交疊的區(qū)域構成有效諧振區(qū)域。根據本公開的聲學諧振器及其制造方法，可以在不顯著增加工藝復雜度的情況下在聲學諧振器的有效諧振區(qū)域周圍形成空隙以將諧振能量限制在有效諧振區(qū)域中，從而減少諧振能量的損失，提高聲學諧振器的品質因數。