拉曼原位監(jiān)控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520712440.X 申請日 -
公開（公告）號 CN204945048U 公開（公告）日 2016-01-06
申請公布號 CN204945048U 申請公布日 2016-01-06
分類號 G01N21/65(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蔣國文;胡國新;王其忻;胡強 申請（專利權(quán)）人 廣東省中科宏微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 510670 廣東省廣州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科學(xué)城開源大道11號A4首層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種拉曼原位監(jiān)控裝置，包括：光源系統(tǒng)，用于輸出入射激光；設(shè)置于所述光源系統(tǒng)的光路上的聚光系統(tǒng)；設(shè)置于所述出光口的光路上的集光系統(tǒng)；設(shè)置于所述集光系統(tǒng)的光路上的色散系統(tǒng)；以及，設(shè)置于所述色散系統(tǒng)的光路上的采集系統(tǒng)。實時對反應(yīng)室內(nèi)氣體和薄膜進(jìn)行監(jiān)控以獲取相應(yīng)的拉曼光譜，并通過對反應(yīng)室內(nèi)溫度、壓強等參數(shù)調(diào)節(jié)以使中間產(chǎn)物的拉曼光譜保持一致，進(jìn)而改善薄膜的結(jié)晶質(zhì)量，提高薄膜的穩(wěn)定性；并且，根據(jù)薄膜內(nèi)有應(yīng)力下的拉曼光譜的頻移和無應(yīng)力下的標(biāo)準(zhǔn)拉曼光譜的頻移的關(guān)系，獲取應(yīng)力大小，并對反應(yīng)室內(nèi)溫度、壓強等參數(shù)調(diào)節(jié)以使應(yīng)力在允許范圍內(nèi)，以避免出現(xiàn)應(yīng)力足夠大而使得薄膜沿晶面間距較大的晶面裂開的情況。