石英加熱管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010563729.1 申請日 -
公開(公告)號 CN101998709A 公開(公告)日 2011-03-30
申請公布號 CN101998709A 申請公布日 2011-03-30
分類號 H05B3/78(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 曹瑾 申請(專利權(quán))人 湖州金科石英有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖州金衛(wèi)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 趙衛(wèi)康
地址 313000 浙江省湖州市吳興區(qū)八里店鎮(zhèn)中小企業(yè)創(chuàng)業(yè)園10號標(biāo)準(zhǔn)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種加熱管,特別涉及一種石英加熱管。該石英加熱管包括石英管本體,而內(nèi)管為一字形,內(nèi)管位于所述中管的底部橫管內(nèi),內(nèi)管內(nèi)沿軸向設(shè)置有鎳鉻電熱合金絲,與鎳鉻電熱合金絲連接有電極;中管為Z字形,中管的底部橫管為加熱區(qū),中管的中部豎管為傳熱區(qū),中管的上部橫管為冷卻區(qū)。本發(fā)明的石英加熱管用于硅片清洗液加熱后,硅片清洗效果好;中管底部內(nèi)套有內(nèi)管,向待加熱的液體逐漸傳熱,熱損失小,電熱轉(zhuǎn)換效率高;中管內(nèi)設(shè)有較長一段距離的傳熱區(qū),使待加熱液體受熱更快更均勻;中管外設(shè)有冷卻區(qū),便于使用者在加熱完后取出加熱管,同時電線不會直接受到熱蒸汽影響,安全系數(shù)高。