石英加熱管
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201010563729.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN101998709B | 公開(公告)日 | 2012-11-28 |
申請公布號 | CN101998709B | 申請公布日 | 2012-11-28 |
分類號 | H05B3/78(2006.01)I | 分類 | 其他類目不包含的電技術(shù); |
發(fā)明人 | 曹瑾 | 申請(專利權(quán))人 | 湖州金科石英有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 湖州金衛(wèi)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 趙衛(wèi)康 |
地址 | 313000 浙江省湖州市吳興區(qū)八里店鎮(zhèn)中小企業(yè)創(chuàng)業(yè)園10號標(biāo)準(zhǔn)廠房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種加熱管,特別涉及一種石英加熱管。該石英加熱管包括石英管本體,而內(nèi)管為一字形,內(nèi)管位于所述中管的底部橫管內(nèi),內(nèi)管內(nèi)沿軸向設(shè)置有鎳鉻電熱合金絲,與鎳鉻電熱合金絲連接有電極;中管為Z字形,中管的底部橫管為加熱區(qū),中管的中部豎管為傳熱區(qū),中管的上部橫管為冷卻區(qū)。本發(fā)明的石英加熱管用于硅片清洗液加熱后,硅片清洗效果好;中管底部內(nèi)套有內(nèi)管,向待加熱的液體逐漸傳熱,熱損失小,電熱轉(zhuǎn)換效率高;中管內(nèi)設(shè)有較長一段距離的傳熱區(qū),使待加熱液體受熱更快更均勻;中管外設(shè)有冷卻區(qū),便于使用者在加熱完后取出加熱管,同時電線不會直接受到熱蒸汽影響,安全系數(shù)高。 |
