一種拋光設(shè)備用的配重加壓式環(huán)刀型修盤器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921570583.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210819121U | 公開（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申請公布號 | CN210819121U | 申請公布日 | 2020-06-23 |
| 分類號 | B24B53/017(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 卓俊輝;謝紹棕;孔令沂;鄧菁;韓景瑞;孫國勝;李錫光 | 申請（專利權(quán)）人 | 廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 廣東莞信律師事務(wù)所 | 代理人 | 東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 523000廣東省東莞市松山湖北部工業(yè)城工業(yè)北一路5號二樓辦公樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種拋光設(shè)備用的配重加壓式環(huán)刀型修盤器，由上往下依次包括：連接環(huán)，與所述連接環(huán)連接的底座結(jié)構(gòu)，所述底座結(jié)構(gòu)的底部外側(cè)設(shè)置有環(huán)形刀口，所述環(huán)形刀口的高度為2～10mm，寬度為2～5mm，且所述環(huán)形刀口有0.5*45°～1*45°的倒角。本實用新型解決了阻尼布拋光墊難以清洗內(nèi)部、清洗不完全干凈等問題，有效提高了拋光墊的使用壽命。?? |
