一種氣缸加壓式環(huán)刀型修盤(pán)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921570597.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210819122U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210819122U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-23 |
| 分類號(hào) | B24B53/017(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 卓俊輝;孔令沂;鄧菁;韓景瑞;孫國(guó)勝;李錫光 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣東莞信律師事務(wù)所 | 代理人 | 東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 523000廣東省東莞市松山湖北部工業(yè)城工業(yè)北一路5號(hào)二樓辦公樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣缸加壓式環(huán)刀型修盤(pán)器，包括：被吸附平臺(tái)，開(kāi)設(shè)在所述被吸附平臺(tái)底部外圍的環(huán)形刀口，及開(kāi)設(shè)在所述被吸附平臺(tái)底部的導(dǎo)流槽，所述環(huán)形刀口的高度為3mm～20mm、寬度為2mm～5mm，且所述環(huán)形刀口有0.5*45°～1*45°的倒角。應(yīng)用于拋光設(shè)備、解決阻尼布拋光墊難以清洗內(nèi)部、清洗不完全干凈等問(wèn)題，還具有結(jié)構(gòu)設(shè)置簡(jiǎn)單及結(jié)構(gòu)設(shè)置合理等特點(diǎn)。?? |
