一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010732638.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112032310A 公開(kāi)（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112032310A 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) F16K1/00;F16K1/38;F16K31/04;F16K31/50;F16K27/02;F16K27/08;F16K41/02 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 許明理;鄭志鵬;尹升愛(ài);王言徐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 航天鈞和科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)航天科技專利中心 代理人 劉秀祥
地址 100076 北京市豐臺(tái)區(qū)南大紅門路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高精度氣體質(zhì)量流量控制閥，PLC控制伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器作為動(dòng)力源，伺服電機(jī)接收到信號(hào)之后做出相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)，伺服電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過(guò)絲桿與限位螺母帶動(dòng)閥芯軸向移動(dòng)，進(jìn)而控制閥芯與閥座的開(kāi)合度最終控制氣體流量，在閥體的進(jìn)氣口處連接氣體流量計(jì)和壓力傳感器，氣體流量計(jì)輸出的流量信號(hào)和壓力傳感器檢測(cè)的壓力信號(hào)做為反饋信號(hào)，PLC接收到反饋信號(hào)后與系統(tǒng)指令進(jìn)行比較，做出判斷發(fā)送新的指令給伺服電機(jī)，如此形成了流量、壓力閉環(huán)控制，最終實(shí)現(xiàn)閥芯位置閉環(huán)控制達(dá)到高精度流量控制。