一種紅外光偵測薄膜、器件、顯示裝置、制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710733229.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109427916B 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN109427916B 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01L31/0224;H01L31/113;H01L31/20;H01L27/144 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃建東 申請（專利權）人 上海耕巖智能科技有限公司
代理機構 福州市景弘專利代理事務所（普通合伙） 代理人 呂元輝;林祥翔
地址 201800 上海市嘉定區(qū)真南路4268號2幢J2990室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種紅外光偵測薄膜、器件、顯示裝置、制備方法，相較于采用TFT漏電流作紅外光敏薄膜晶體管之器件，本發(fā)明以底部柵極式場效晶體管結構將光伏柵極設置于源極和漏極間隙內，大幅增加了光電子的激發(fā)。在每一個偵測像素里，源極與源極相互并聯(lián)，漏極與漏極也都相互并聯(lián)，相鄰的源極和漏極之間間隙配合，降低了光激發(fā)之電子與空穴再復合機率，增加了場效應作用下電極收集光電子的成功機率，最大化地改善了TFT漏電流紅外光敏薄膜晶體管的光敏感度。本發(fā)明無需摻雜含硼氣體即可實現，有效減少了紅外光偵測薄膜生產過程中對環(huán)境的污染，降低了生產成本。