藍寶石襯底片粗磨研磨液及其配制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110097782.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102212334B 公開（公告）日 2013-06-26
申請公布號 CN102212334B 申請公布日 2013-06-26
分類號 C08J5/14(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 景旭斌 申請（專利權(quán)）人 浙江露笑光電有限公司
代理機構(gòu) 杭州華鼎知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 浙江露笑光電有限公司;浙江露通機電有限公司
地址 311814 浙江省紹興市諸暨店口鎮(zhèn)露笑路38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍寶石襯底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和懸浮液組成，碳化硼、水和懸浮液的重量比＝2∶4∶1，所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成，分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比＝2∶5∶1，所述分散劑為高分子有機醇，所述懸浮劑為高分子化合物，所述防銹劑為堿。本發(fā)明由于采用了上述技術(shù)方案，所得研磨液成本低，穩(wěn)定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大為提高。