藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110097508.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102212333B 公開（公告）日 2013-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN102212333B 申請(qǐng)公布日 2013-06-26
分類號(hào) C08J5/14(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 李鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江露笑光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華鼎知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓洪
地址 311814 浙江省紹興市諸暨店口鎮(zhèn)露笑路38號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，由金剛石粉、水和懸浮液組成，金剛石粉、水和懸浮液的重量比＝1∶10∶1，所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成，分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比＝2∶5∶1，所述分散劑為高分子有機(jī)醇，所述懸浮劑為高分子化合物，所述防銹劑為堿。本發(fā)明由于采用了上述技術(shù)方案，所得研磨液均勻度好，利于研磨，可使加工結(jié)束后的晶片表面粗糙度大為改善，且減少了塌邊的產(chǎn)生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大為提高。