藍寶石拋光后的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110097704.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102218410A 公開（公告）日 2011-10-19
申請公布號 CN102218410A 申請公布日 2011-10-19
分類號 B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 趙德剛 申請（專利權）人 浙江露笑光電有限公司
代理機構 杭州華鼎知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 浙江露笑光電有限公司
地址 311814 浙江省紹興市諸暨店口鎮(zhèn)露笑路38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍寶石拋光后的清洗方法，包括以下步驟：a、按照雙氧水、氨水和去離子水的重量比＝1∶4∶5配制清洗液；b、采用步驟a所得清洗液清洗1分鐘；c、用去離子水清洗4分鐘；d、用硫酸清洗1分鐘；e、用去離子水清洗4分鐘；f、用氫氟酸清洗30秒；g、用去離子水清洗4分鐘；h、用丙酮擦拭；i、用超聲波清洗機清洗2分鐘；j、最后用甩干機進行甩干。本發(fā)明由于采用了上述技術方案，可有效地將晶片表面殘留的有機物，無機物，金屬離子等去除掉，避免防止反復清洗環(huán)節(jié)，大大提高了工作效率。