芯片表面缺陷的檢測方法、裝置及計算機可讀存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210296614.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114693626A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114693626A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G06T7/00（2017.01）I;G06T7/13（2017.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 謝煜;何崗 申請（專利權(quán)）人 深圳市億圖視覺自動化技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)吉華街道水徑社區(qū)吉華路399號紅門工業(yè)園一期C棟403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請適用于芯片檢測技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種芯片表面缺陷的檢測方法、裝置及計算機可讀存儲介質(zhì)。該方法通過獲取待檢測芯片的多個原始圖像，并確定原始圖像的第一清晰度；以及確定原始圖像的邊緣區(qū)域，并確定邊緣區(qū)域的第二清晰度；且根據(jù)第一清晰度和第二清晰度確定第三清晰度，從而從多個原始圖像中確定第三清晰度較高的待處理圖像，由于第三清晰度綜合了第一清晰度和第二清晰度，因此第三清晰度高的待處理圖像中邊緣區(qū)域和原始圖像均清晰。后續(xù)根據(jù)待處理圖像確定的目標(biāo)圖像中邊緣區(qū)域的裂痕也比較明顯，因此對目標(biāo)圖像檢測時容易檢測到邊緣區(qū)域的裂痕，防止漏檢。