雙通道紅外窄帶濾光片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022801454.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213423510U 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN213423510U 申請公布日 2021-06-11
分類號 G02B5/28（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 閔忠;趙政;張小卉 申請（專利權(quán)）人 上海尼賽拉傳感器有限公司
代理機構(gòu) 上海華祺知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 劉衛(wèi)宇
地址 200434上海市虹口區(qū)汶水東路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙通道紅外窄帶濾光片，包括硅基板，硅基板的表面上交替鍍有一氧化硅膜層和鍺膜層，由一氧化硅膜層和鍺膜層組成的膜系的結(jié)構(gòu)式為：Si|3.07L3.07H3.07L3.07H6.14L3.07H3.07L3.07H3.07L3.515H3.96L3.96H3.96L3.96H3.96L3.96H7.92L3.96H3.96L3.96H3.96L3.96H3.96L|Air。式中各符號的含義分別為：Si表示硅基板，L表示光學厚度為λ0/4的一氧化硅膜層，H表示光學厚度為λ0/4的鍺膜層，λ0為設(shè)計波長，λ0=1μm，Air表示入射介質(zhì)空氣層，結(jié)構(gòu)式中的數(shù)字為膜層的厚度系數(shù)。本實用新型能允許中心波長分別為3.07μm和3.96μm的兩個通帶的紅外光譜通過，用這種濾光片制造的紅外氣體分析儀可以同時探測兩種氣體。