一種分子泵

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720540557.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207004861U 公開(kāi)(公告)日 2018-02-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN207004861U 申請(qǐng)公布日 2018-02-13
分類號(hào) F04D19/04;F04D25/06;F04D29/053;F04D29/32 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械;液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 陳博昊;張智明 申請(qǐng)(專利權(quán))人 四川西充農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華旭智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 四川九天真空科技股份有限公司;四川九天真空科技有限公司
地址 四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分子泵,包括,泵體,上電機(jī)座,主軸,為鏡相對(duì)稱結(jié)構(gòu),上、下安全軸承,上、下安全軸承座,上、下動(dòng)葉輪,上、下靜葉片組,電機(jī),包括上、下電機(jī)定子及上、下電機(jī)轉(zhuǎn)子,所述上、下電機(jī)定子均具有轉(zhuǎn)矩繞組和懸浮繞組,該分子泵使用了鈦合金葉片,重量輕,強(qiáng)度高,同時(shí)帶來(lái)較高的一階模態(tài)頻率,提高了分子泵的極限轉(zhuǎn)速;采用了鏡像對(duì)稱形狀的主軸及兩個(gè)動(dòng)葉輪、兩個(gè)電機(jī)定子均為對(duì)稱分布的設(shè)計(jì),改善了主軸轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中的穩(wěn)定性;同時(shí)在一個(gè)電機(jī)定子上集成了轉(zhuǎn)矩繞組和懸浮繞組,有效縮短了主軸長(zhǎng)度,突破了傳統(tǒng)分子泵的極限轉(zhuǎn)速限制,在高真空下?lián)懈叩膲嚎s比,使分子泵應(yīng)用于極高真空成為可能。