一種多級差分密封的真空腔室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720541589.5 申請日 -
公開（公告）號 CN207583247U 公開（公告）日 2018-07-06
申請公布號 CN207583247U 申請公布日 2018-07-06
分類號 E06B7/16 分類 一般門、窗、百葉窗或卷輥遮簾；梯子;
發(fā)明人 陳博昊;張智明 申請（專利權(quán)）人 四川西充農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華旭智信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 四川九天真空科技股份有限公司;四川九天真空科技有限公司
地址 四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多級差分密封的真空腔室，包括：真空腔體、真空艙門、多個密封圈、多個環(huán)形密封圈安裝槽、多個環(huán)形差抽氣體導(dǎo)流槽、多個差抽排氣孔以及用于將真空腔體與真空艙門連接起來的連接機(jī)構(gòu)；其中，所述多個密封圈分別設(shè)置在所述多個環(huán)形密封圈安裝槽中；所述多個差抽排氣孔分別位于所述多個環(huán)形差抽氣體導(dǎo)流槽之上；所述多個環(huán)形差抽氣體導(dǎo)流槽分別位于所述多個環(huán)形密封圈安裝槽中的兩個之間，形成交替分布，或者在真空腔體與真空艙門二者閉合之后，所述多個環(huán)形差抽氣體導(dǎo)流槽分別位于所述多個環(huán)形密封圈安裝槽中的兩個之間，形成交替分布。利用多密封圈密封，結(jié)合差分抽氣，提高了傳統(tǒng)真空腔室的極限真空。