一種基于空間聚類的waferbin合并方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010740257.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111860676A 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號(hào) CN111860676A 申請公布日 2020-10-30
分類號(hào) G06K9/62(2006.01)I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 謝箭;趙文政;劉林平 申請（專利權(quán)）人 上海喆塔信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200120上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路1505弄100號(hào)3幢3層H單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于空間聚類的wafer bin合并方法，涉及半導(dǎo)體制造業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。通過空間聚類的方式，將構(gòu)成同一失效模式的不同bin自動(dòng)的進(jìn)行合并，與此同時(shí)，具有混合失效模式的wafer bin map也能被分解為多個(gè)單一的失效模式，本發(fā)明相較于傳統(tǒng)的人工視檢減少了主觀判定，解決了按單bin分析時(shí)失效模式不完整的問題，為后續(xù)的良率根因中的共性分析提供了堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。??