一種基于卷積分類網(wǎng)絡(luò)的晶圓圖失效模式相似檢索的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010738584.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111858990A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111858990A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | G06F16/55(2019.01)I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 謝箭;趙文政;劉林平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海喆塔信息科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路1505弄100號(hào)3幢3層H單元 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于卷積分類網(wǎng)絡(luò)的晶圓圖失效模式相似檢索的方法，涉及半導(dǎo)體制造業(yè)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明針對(duì)晶圓失效模式的圖像特征，構(gòu)建了一種兼顧語(yǔ)義特征及局部細(xì)節(jié)特征的卷積分類網(wǎng)絡(luò)，通過(guò)分類偽任務(wù)來(lái)提取圖像特征，由于圖像特征是高維的向量，采用傳統(tǒng)的相似度量方法并不能在大規(guī)模的數(shù)據(jù)集相似檢索中實(shí)用，為此，本發(fā)明對(duì)圖像的卷積特征做了進(jìn)一步的二值量化編碼，采用局部敏感哈希算法，將高維向量壓縮為低維向量，相似樣本以較大概率分到同一分區(qū)桶中，減少檢索池?cái)?shù)據(jù)規(guī)模，因而大幅度的降低了相似檢索的計(jì)算復(fù)雜度，相較于人工視檢的方式搜索晶圓相似的失效模式，本發(fā)明是一種高效準(zhǔn)確的自動(dòng)化相似檢索分析方法。?? |
