一種易于維護(hù)的EUV光源液滴錫靶供應(yīng)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210179471.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114690588A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114690588A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/20（2006.01）I;H05G2/00（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 焦志潤(rùn);王浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 116000遼寧省大連市沙河口區(qū)中山路457號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種易于維護(hù)的EUV光源液滴錫靶供應(yīng)裝置。本發(fā)明包括閥體和與閥體輸出端相連的聲學(xué)產(chǎn)生及傳播裝置，閥體的兩端分別設(shè)有第一端蓋板和第二端蓋板，閥體內(nèi)部作為靶材腔室，第一端蓋板上設(shè)有與所述靶材腔室相連的小孔，聲學(xué)產(chǎn)生及傳播裝置的輸入端連接靶材腔室，閥體的外部可拆卸地套接有溫度調(diào)節(jié)裝置，第二端蓋板上設(shè)有連接閥體內(nèi)部的加壓管路，加壓管路用于向靶材腔室加壓，得到連續(xù)的錫噴射流，溫度調(diào)節(jié)裝置用于為閥體加熱溫度，聲學(xué)產(chǎn)生及傳播裝置用于將經(jīng)過其的連續(xù)的錫噴射流變?yōu)榉€(wěn)定的錫液滴流，聲學(xué)產(chǎn)生及傳播裝置配套有用于為其制冷溫的主動(dòng)制冷裝置。本發(fā)明方便的更換閥體，可實(shí)現(xiàn)錫滴極高的空間穩(wěn)定性和極好的高頻重復(fù)性。 |
