一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020791995.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211858606U 公開（公告）日 2020-11-03
申請公布號 CN211858606U 申請公布日 2020-11-03
分類號 H01L21/67(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅 申請（專利權(quán)）人 安徽帝顯電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽帝顯電子有限公司
地址 243000安徽省馬鞍山市鄭蒲港新區(qū)姥橋鎮(zhèn)聯(lián)合路廣納標(biāo)準(zhǔn)化廠房13#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置，包括基座和加工倉，加工倉安裝在基座上，加工倉的內(nèi)側(cè)安裝有加工臺和激光發(fā)射器，加工倉的側(cè)壁上還安裝有調(diào)節(jié)組件。本液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置，調(diào)節(jié)組件可以對加工臺進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其移動加工臺到不同的區(qū)域，以滿足不同的加工效果，其中封板和負(fù)壓吸塵罩的設(shè)置，可以避免加工倉內(nèi)產(chǎn)生的煙霧溢出，安全性好，其中當(dāng)需要調(diào)節(jié)加工臺位置時，可以通過轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤來帶動第二圓柱以進(jìn)行初步的調(diào)節(jié)，然后轉(zhuǎn)動旋鈕對加工臺位置進(jìn)行的微調(diào)，即通過初步調(diào)節(jié)和微調(diào)這樣能保證加工臺的位置調(diào)節(jié)精準(zhǔn)，同時操作過程簡單方便。??